我院团队发布全球首片8英寸蓝宝石基GaN HEMTs晶圆
近日,在2024年武汉九峰山论坛上,6165cc金沙总站检测中心(以下简称“我院”)第三代半导体创新中心李祥东教授展示了全球首片8英寸蓝宝石基GaN HEMTs晶圆器件,器件主要包含几个突出优势:● 调控外延工艺,外延片不均匀性控制在4%以内;● HEMTs器件的cp测试良率超过95%;● 击穿电压轻松突破2000 V。据李祥东教授介绍,团队通过长时间的研究与试验,成功实现了外延片不均匀性的极低控制,确保了高良率。同时,...
2024-04-16